Thiết bị đo độ trong sạch khí Yokogawa CM500

Thiết bị đo độ trong sạch khí Yokogawa CM500

Khi mức độ tích hợp của LSI cũng tăng lên vì sản xuất FPD quy mô lớn đang thúc đẩy loại bỏ các chất gây ô nhiễm dạng khí như amoniac
và khí axit trong phòng sạch đã trở thành một vấn đề quan trọng. Để đối phó với yêu cầu này, giám sát chất gây ô nhiễm trong không khí và kiểm tra định kỳ hóa chất hiệu suất tại bộ lọc hóa học là thước đo quan trọng.

Thiết bị đo độ trong sạch khí Yokogawa CM500 đo khí amoniac và axit liên tục ở độ nhạy cao bằng cách sử dụng sự khuếch tán máy chà sàn và máy sắc ký ion. Máy chà sàn khuếch tán là hút khí amoniac / axit trong nước. Sau đó chúng được phân tích bằng máy sắc ký ion. Các CM501 Bộ giám sát khí trong phòng sạch nhận biết không bị nhiễm bẩn, giám sát không khí trực tuyến. Loại đa luồng tùy chọn (16 điểm) cũng có sẵn.

Tính năng đặc điểm:

● Khí amoniac được đo ở độ nhạy 0,01 µg / m3.
● Khí có tính axit (hydro clorua, lưu huỳnh đioxit, v.v.) được đo ở độ nhạy 0,02 µg / m3.
● Sắc ký ion, một phân tích có độ tin cậy cao kỹ thuật, được sử dụng.
● Tecknique lọc bụi khuếch tán độc đáo giảm thiểu sự nhiễm bẩn của mẫu.
● Tiêu thụ chất rửa giải là tối thiểu và thay thế chất rửa giải chỉ được yêu cầu mỗi tháng một lần.
● Kết quả được theo dõi trên biểu đồ xu hướng từ máy trạm.
● Có sẵn phần mềm dự đoán tuổi thọ của bộ lọc.
● Các mẫu từ tối đa 16 điểm được đo (không bắt buộc)

[embeddoc url=”https://tktech.vn/wp-content/uploads/2021/02/thong-so-Yokogawa-CM500.pdf” download=”all” viewer=”google”]